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1次車から14次車まであり、台車が次車によって変わります。1次車から5次車(01F-19F)
台車が空気バネであり、1975年~1981年に製造されました。
6次車(20F-22F)
こちらの台車はシュリーレン式に変更。1982年に製造されました。5122Fのみ静止形インバータ装置を試験的採用しました。
7・8次車(23-28)
ここから静止形インバータ装置を完全に採用
室内予備灯が蛍光灯に変更し、車内の扇風機がローリーファンに変更されました。1983年に製造されました。
9次車(30-32)
5131Fの福岡(天神)側先頭車の台車のみ箱軸支持方式を円筒ゴム軸箱支持方式に試験的変更されました。
1985年に製造されました。
10・11次車(33-39)
ここから円筒ゴム軸箱支持方式を正式に導入し、前照灯・尾灯カバーの形状が丸型から6000形、6050形同様四角形に変更されました。
以前に造られた編成も同様に変更されました。
1986年に製造されました。
12次車(40)
台車は予備のものを採用したため1次車~5次車同様となり、製造はいったん打ち切られました。
1988年に製造されました。
13&14次車
1991年に3両固定編成であった31、36、40編成で輸送増強のため付随中間車を6両となり14次車の3両が5000形として最後の増備車となり旧型車両を置き換えました。
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